안녕하세요, 저는 삼성전자 파운드리사업부의 이원기입니다.

다름이 아니옵고 작년 SEDEX 반도체대전에서 소개받았던 플라즈마 실시간 측정센서와 관련하여 문의드리고자 연락드립니다.

해당 제품은 표준연과 개발한것으로 알고 있습니다.

Heater에 센서를 설치한 것으로 알고 있는데 이것 외에 View port에 달아 플라즈마 균일도를 측정하는 센서도 있을까요?

관련 브로셔가 있다면 두제품에 대해 모두 받아보고 싶습니다.

감사합니다